Kundenspezifischer 5-Achs-Manipulator für den Betrieb in Reinräumen der Klasse 6

Positionsstabilität, Dynamik und Präzision sind entscheiden im Bereich der Inline-Waferinspektion, um den Durchsatz zu maximieren. PM wurde ersucht, eine mehrachsige Positionierungslösung für reibungsloses Hochgeschwindigkeits-Scannen und sehr hoher Zuverlässigkeit zu liefern. Unsere Systemingenieure arbeiteten eng mit dem Kunden zusammen, um seine Projektanforderungen zu verstehen und die kritischen Projektziele zu erreichen.

Kontaktieren Sie uns, um Ihre Anwendung zu besprechen.

Die Herausforderungen

  • eine möglichst kurze Vorlaufzeit;

  • Entwurf eines schnellen und präzisen Wafertisches mit einem Versteifungsrahmen, der Röntgenstrahlen passieren lässt;

  • Erstellung eines modularen Aufbau, um die Aufrüstbarkeit zu verbessern;

  • Reinraumklasse 6 kompatibel.

Die Anwendung

Für die Waferinspektion der nächsten Generation hat unser Kunde eine berührungslose, zerstörungsfreie Messung für Inline-Frontend-Prozesse entwickelt. Die Vorteile reichen von Einzelanwendungen bis hin zu vollautomatischen Inline-Messungen, bei denen jeder einzelne Wafer in der Produktion gemessen werden kann.

Ergebnisse

  • Der erste Prototyp wurde innerhalb des Zeitbudgets nach Projektbeginn geliefert. Dies lag daran, dass alle Kompetenzen des Unternehmens gebündelt wurden. Dies ermöglichte eine gute Zusammenarbeit der Konstruktions-, Fertigungs- und Montageprozesse;

  • Der Versteifungsrahmen wurde auf Steifigkeit optimiert, um eine möglichst hohe Systembandbreite zu erhalten. Dies um sicherzustellen, dass die Einschwingzeiten und Genauigkeiten den Spezifikationen entsprechen;

  • Der modulare Aufbau ermöglicht verschiedene Konfigurationen des Systems. Das System kann wahlweise mit 5 oder 7 Bewegungsachsen ausgestattet werden. Auf Wunsch kann auch ein Schwingungsisoliersystem integriert werden.

Technische Daten

Hub X-Y: 1050 mm x 490 mm
Geschwindigkeit: 1,4 m/s
Beschleunigung; 5 m/s2 für X-Achse
Beschleunigung: 1 m/s2 für Y-Achse

Hub Z: 55 mm
Geschwindigkeit: 5 mm/sec.
Drift: 50 nm in 20 Sekunden.

 

Dual angetriebener Linearmotor / AC-Motor angetrieben
Reinraumklasse 6 kompatibel
Wiederholbarkeit kurzfristig < 5 Mikron
Wiederholbarkeit langfristig < 10 Mikron
Jitter 50 nm/20 Sek. obere X-Y-Achse
Jitter 1 Mikron/20 Sek. untere X-Y-Achse
Absolute Genauigkeit < 15 Mikrometer
Linearführungen XY- Flachprofil-Umlaufeinheiten UK-6

Leistungsfähigkeiten

PM bietet in seinem Haus einzigartige Fähigkeiten mit umfassendem F&E- und Engineering-Service, Anwendungsexpertise für Vakuum- und Ultrahochvakuumumgebungen,

 

eigene Fertigung, Reinraummontage und verschiedene Mess- und Prüfgeräte. Detaillierte Informationen finden Sie auf unserer Kompetenzseite.

 

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